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真空退火爐應急處理方法

下面我們江蘇邦泰爐業有限公司為您介紹關于真空退火爐應急處理方法說明。

  退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業爐,超節能結構,采用纖維結構,節電60%。那么你了解真空退火爐應急處理方法嗎?

  問題一:

  冷卻水泵壞了 ,怎么辦?

  1、將冷卻水轉換到應急自來水供水;

  2、上報設備進行維修。

  問題二:

  氫氮混合氣壓力為0 ,怎么辦?

  1、關閉氫氮混合氣輸氣管閥門,打開氮氣輸氣管閥門;

  2、上報設備進行維修處理;

  3、如長時間無氫氮混合氣,停止生產,退火爐降溫。

  問題三:

  自來水停水,怎么辦?

  處理方法:上報設備維修。

  問題四:

  在真空退火爐生產過程中發生停電時,導致退火爐降溫、冷卻水泵停止運行,怎么辦?

  1、封鎖氫氮混合氣輸氣管閥門,打開氮氣輸氣管閥門,將退火爐中的氫氣排出;

  2、冷卻水轉換到應急自來水供水。

  問題五:

  電氣故障,怎么辦?

  1、退火爐停止生產,降溫處理;

  2、上報設備維修。

  江蘇邦泰爐業有限公司(原丹陽市嘉恒爐業有限公司)是國內大型工業爐生產基地,集產品研發、制造、銷售和服務為一體,是熱處理行業協會、中國機械工程學會會員單位,產品廣泛應用于機械、冶金、模具、鑄造、汽車、軍工等各種工業領域,產品遠銷新加坡、泰國、馬來西亞、越南、澳大利亞等國家和香港、臺灣地區,是熱處理工業爐定點示范單位。


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